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• “카트리지 재검을 외국서 해와야 하다니”

  송고일 : 2026-01-14
  
  
  
  
  

  업계, 초대형용기 비파괴검사 범위 확대 건의 반도체용 특수가스인 모노실란을 충전, 운반하는 튜브트레일러. [가스신문 = 한상열 기자] “반도체용 초고순도 특수가스를 충전하는 Y톤실린더, 튜브트레일러 등 초대형 용기를 재검사하려고 할 때 일본, 대만 등으로 가서 해와야 하는 것이 말이 됩니까. 국내에서 이뤄지는 재검사는 물을 집어넣어 재검사함으로써 특수가스용 초대형 용기의 경우 실린더 내부가 오염되기 때문에 DOT 인증을 받은 용기는 외국에 가서 검사하는 게 속 편합니다. 밸브를 탈착하지 않은 상태에서 초음파검사(UT)·음향탐상검사(AE)를 받으면 밸브교체, 바렐연마 등의 과정을 거치지 않아도 되므로 시간과 비용을 절감할 수 있지요.” 반도체용 특수가스제조업체에서 튜브트레일러(30ft, 40ft 등의 규모 카트리지 8~20여개를 묶어 차량에 고정한 형태)를 관리하는 한 관계자의 하소연이다. 반도체 및 디스플레이 제조공정에 쓰이는 NF3(삼불화질소), SiH4(모노실란), PH3(포스핀), NH3(암모니아), SF6(육불화황), N2O(아산화질소) 등의 고순도 특수가스를 충전하는 초대형 용기는 수분 등 불순물의 용입을 허용하지 않으므로 밸브를 탈착하지 않고 검사하는 것이 관건이다. 이처럼 반도체용 특수가스용기의 특성상 재검사할 때 UT, AE 등 비파괴검사를 적용해야 효율적이라는 주장이 설득력을 얻고 있다. 특히 한국산업특수가스협회를 비롯한 특수가스제조업계에서는 최근 반도체용 특수가스용기를 재검사할 때 물을 넣어 검사하는 내압시험으로 인해 불순물이 용입됨으로써 수분 제거, 바렐연마, 진공처리 과정 등의 불편을 초래하고 자원을 낭비하므로 KGS AC 218 2021(고압가스용 이음매 없는 용기 재검사기준) 5.2.1.1.2(3)에서 내압시험을 면제해야 한다는 것이다. 이에 따라 협회는 반도체용 특수가스용 용기 또는 밸브는 내용적 150ℓ 이하에서 내용적 500ℓ 이하로 그 대상을 확대해야 한다는 내용으로 산업부와 가스안전공사에 지속적으로 건의해 왔다. 이와 관련해 한국가스전문검사기관협회를 비롯해 몇몇 가스전문검사기관의 관계자들도 같은 목소리를 내는 등 특수가스업계와의 이해충돌까지 모두 해소돼 UT, AE 등 비파괴검사의 범위가 더욱 확대될 것으로 기대하고 있다. 특수가스용 튜브트레일러도 UT나 AE 등 비파괴검사를 통해 3000ℓ 이하까지 확대하자는 것이다. 고압가스업계의 한 관계자는 “특히 DOT(미국 교통성) 인증을 받은 제품의 경우 해외에서는 특수가스용 튜브트레일러도 UT, AE 등 비파괴검사를 하고 있다”면서 “현재 우리나라에서는 내용적 150 이하의 용기만 비파괴검사를 할 수 있는데 하루속히 내용적 3000ℓ 이하까지 그 범위를 확대, 허용해야 할 것”이라고 강조했다. 이에 따라 국내 특수가스업계 뿐만 아니라 몇몇 튜브트레일러 전문검사기관이 나서 비파괴검사의 대상을 확대해달라는 건의가 이어지고 있으며 산업통상부, 가스안전공사 등이 나서 관련 기준을 적극적으로 개선해야 하겠다.
  
  
  출처 : 가스신문(https://www.gasnews.com/)